реактор осаждения из паровой фазы с вертикальным потоком

stačiasis garasrautis reaktorius statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. vertical-flow reactor vok. Reaktor für Abscheidung aus der Gasphase mit vertikalem Strom, m rus. реактор осаждения из паровой фазы с вертикальным потоком, m pranc. réacteur pour déposition en phase vapeur à flux vertical, m